Chùa được xây dựng vào thời Hậu Lê. Năm 1630, Bà Đặng Thị Ngọc Dao là chính phi của Triết Vương Trịnh Tùng đã cho trùng kiến ngôi chùa. Chùa hiện có tượng thờ bà Ngọc Dao ngồi trên tòa sen (tượng gỗ phủ sơn, cao 1m) và ngôi mộ của bà.[1] chùa là một trong những ngôi chùa thờ cả Tứ pháp

Chùa dựng điện Phật, tăng phòng năm 1630, xây gác chuông năm 1631. Đến thời Gia Long (1809) và Bảo Đại (1927), chùa lại được trùng tu lớn. Về sau, chùa còn được nhiều người con gái kẻ Mơ có danh vọng bỏ tiền công đức tu sửa chùa như cung tần Lê Ngọc Trân, cung tần Lê Thị Ngọc Côn, Lê Thị Minh…